景颐光电服务-丽水半导体膜厚测试仪-半导体膜厚测试仪厂家

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    2023-2-24

蔡晓东
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反射膜厚仪

紧凑型---反射膜厚仪,利用光学干涉原理,丽水半导体膜厚测试仪,通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱,半导体膜厚测试仪批发,快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

光学薄膜测量解决方案;

非接触、非破坏测量;

重点算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析;

是膜厚重复性测量精度:0.02nm

配置灵活、支持定制化

产品特点

采用高强度卤素灯光源,光谱覆盖深紫外到近红外范围;

采用光机电高度整合一体化设计,体积小,半导体膜厚测试仪价位,操作简便;

基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理,轻松解析单层薄膜到多层;




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涂层膜厚仪---:

1. 测量面积:无需搭配昂贵的毛细---管可测量直径0.05mm样品区域。

2. 异形件测试:所有台式机都搭载变焦装置,配置efp算法,可检测凹凸高低落差不同的各种异形件。

3. 复杂特种涂镀层、渗层测试:---的efp算法不但对多层测试、校准方便,而且解决了多层合金、上下元素重复镀层及渗层的检测难题。

4. 更广的分析范围、轻元素测试:efp多元迭代算法,利用特征射线的发射、吸收、散射及二次荧光等等迭代计算,可分析到更多探测器无法检测到的发射光谱,分析范围更广。


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涂层测厚仪的工作原理

涂层测厚仪常见的工作原理有磁感应测量原理和电涡流测量原理。

磁感应测量原理的产品主要是利用指针式表头,测量基体金属感应电动势的大小,仪器接受以后通过将信号放大来表示覆层厚度。近年来由于电路设计方面的一些新技术突破,可以采用设计的集成电路,引入微机,是误差范围成百倍的缩小,经常被用于测量钢铁表面的油漆层以及化工石---业的防腐层。

电涡流测量原理是利用高频交流信号在测头线圈中产生电磁场,测头靠近导体时,就在其中形成涡流。测头离导电基体愈近,半导体膜厚测试仪,则涡流愈大,反射阻抗也愈大的现象进行的。但电涡流测量原理使用时还要注意一个非常重要的条件,覆盖材料的导电性与基体金属的导电性应当相差三倍以上。


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